小型蒸鍍儀體積小，功能齊全，但它配備了電壓和電流反饋、樣品臺旋轉、樣品高度調節和電動擋板功能。通過定期調節預熱功率和蒸發功率，大多數金屬可以均勻地蒸發和沉積。真空室由透明石英玻璃制成，以減少樣品污染。可以旋轉樣品臺以獲得更均勻的膜，并且可以制備各種金屬膜和有機膜。

　　

　　小型蒸鍍儀工作包括以下基本工藝：

　　

　　1、加熱蒸發過程：包括從冷凝相變成氣相的過程。每種蒸發物質在不同溫度下具有不同的飽和蒸汽壓。

　　

　　2、氣態原子或分子在蒸發源和基底之間的傳輸是原子或分子于環境大氣中的飛行過程。

　　

　　3、蒸發原子或分子在基材表面的沉積。即蒸發、冷凝、成核、成核和生長以形成連續膜。因為襯底的溫度遠低于蒸發源的溫度，所以氣體分子的相變過程將直接在襯底表面從氣態到固態發生。

　　

　　小型蒸鍍儀實驗步驟：

　　

　　1、將待濺射的基材放入蒸發和電鍍儀器的腔室中。

　　

　　2、根據蒸發和電鍍所需的材料選擇金屬蒸發頭/鎢籃或碳蒸發頭，并根據儀器操作規則程序安裝蒸發和電鍍需要的材料。當使用碳棒蒸發頭時，一根電極線連接到儀器背面的黑洞，一根導線連接到紅孔；當使用金屬蒸發頭時，一根電極線連接到儀器背面的黑洞，一根導線連接到綠洞。

　　

　　3、根據儀器的操作規則逐步操作儀器，實驗結束時取出樣品。由于長時間使用后，燃燒室周圍沉積了厚厚的涂層，因此應根據實際情況及時清潔燃燒室。但是，不允許使用丙酮和乙醇等有機試劑清潔橡膠圈，以避免老化導致的空氣泄漏。關閉主機電源和原點，切斷儀器的主電源并蓋住儀器。